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【2h】

Miniature RF test structure for on-wafer device testing and in-line process monitoring

机译：用于晶圆上器件测试和在线过程监控的微型RF测试结构

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作者
Ming-hsiang Cho; Student Member; Ryan Lee; An-sam Peng; David Chen; Chune-sin Yeh; Lin-kun Wu;
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年度 2008
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1. Miniature RF Test Structure for On-Wafer Device Testing and In-Line Process Monitoring [J] . Cho M.-H., Lee R., Peng A.-S., IEEE Transactions on Electron Devices . 2008,第1期

机译：微型射频测试结构，用于晶圆上设备测试和在线过程监控
2. Compact On-Wafer Test Structures for Device RF Characterization [J] . Babak Kazemi Esfeh, Khaled Ben Ali, Jean-Pierre Raskin Electron Devices, IEEE Transactions on . 2017,第8期

机译：紧凑的晶圆上测试结构，用于器件射频表征
3. Novel RF Process Monitoring Test Structure for Silicon Devices [J] . Choon Beng Sia, Beng Hwee Ong, Kok Meng Lim, IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing . 2005,第2期

机译：硅器件的新型射频过程监控测试结构
4. IN-LINE RF DEVICE TESTING FOR MONITORING A HIGH VOLUME GaAs HBT PRODUCTION LINE [C] . Cristian Cismaru, Hal Banbrook, Peter J. Zampardi, Annual International Conference on Compound Semiconductor MANufacturing TECHnology . 2005

机译：在线RF设备测试，用于监控高容量GaAs HBT生产线
5. A fully integrated transmitter for on-wafer wireless testing. [D] . Park, Pil Jae. 2009

机译：完全集成的发射机，用于晶片上无线测试。
6. Automated pipette failure monitoring using image processing for point-of-care testing devices [O] . Chan-Young Park, Jun Yeon, Hye-Jeong Song, 2018

机译：使用即时诊断仪图像处理的自动移液器故障监控
7. Automated Contacting of On-Wafer Devices for RF Testing [O] . F. Mubarak, C. D. Martino, R. Toskovic, 2020

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